小型自动磁控溅射仪
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——专业磁控溅射产品供应商,我们为您带来以下信息。
1. 溅射室极限真空度:≤6.6×10-6 Pa
2. 系统真空检漏漏率:≤5.0×10-7Pa.l/S
3. 系统从大气开始抽气:溅射室30分钟可达到6.6×10-4 Pa;
4. 系统停泵关机12小时后真空度:≤5Pa
5.溅射真空室1套,立式上开盖结构,尺寸不小于Ф300mm×300mm,全不锈钢结构,弧焊接,表面进行电化学抛光,内含防污内衬,可内烘烤到100~150℃,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封,腔体内有照明系统
6. 磁控溅射系统 3套, 提供3块测试靶材。镀膜不均匀度≤5%
7. 旋转基片台1套,样品台可放置不小于100mm样品1片,具有连续旋转功能,桌式350型三靶磁控溅射仪报价,旋转0—30转/分连续可调。基片加热温度:室温—500°C连续可调,由热电偶闭环反馈控制,桌式350型三靶磁控溅射仪,加热电源配备控温表,控温方式为PID自动控温及数字显示
8. 观察窗口及法兰接口部件 1套
9.工作气路1套,包含:100SCCM、20SCCM质量流量控制器、CF16截止阀、管路、接头等共2路;DN16充气阀、管路、接头等2路;
10. 抽气机组及阀门、管道1套,包含1台进口复合分子泵及变频控制电源(680L/s ,德国普发Hipace700分子泵);1台机械泵(4L/S),1台DN40气动截止阀,机械泵与真空室之间的旁抽管路1套,CC150气动闸板阀1台(用于复合分子泵与真空室隔离),节流阀1台,DN40旁抽气阀1台,压差式充气阀1台;管道采用不锈钢三通及波纹管,
11. 安装机台架组件1套,由方钢型材焊接成,快卸围板表面喷塑处理,机台表面用不锈钢蒙皮装饰,四只脚轮,可固定,可移动。
卧式磁控溅射镀膜机
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主要用途:
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。
系统组成:
主要由真空室系统溅射室、靶及电源系统、样品台系统、真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、电控系统、计算机控制系统及辅助系统等组成。
磁控溅射介绍
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用磁控靶源溅射金属和合金很容易,桌式350型三靶磁控溅射仪定做,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体(如陶瓷),则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容,这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。
桌式350型三靶磁控溅射仪-沈阳鹏程真空技术公司由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。“电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束”就选沈阳鹏程真空技术有限责任公司(www.pengchengzk.com),公司位于:沈阳市沈河区凌云街35号,多年来,沈阳鹏程坚持为客户提供好的服务,联系人:董顺。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。沈阳鹏程期待成为您的长期合作伙伴!