MOCVD 金属有机化学气相沉积设备
2026-07-06 11:42 46897176 119.118.247.42 21次
- 发布企业
- 鹏城微纳技术（沈阳）有限公司
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第1年主体名称：鹏城微纳技术（沈阳）有限公司组织机构代码：91210104MA7LH39L93
- 报价
- 请来电询价
- 品牌
- 鹏城微纳
- 型号
- 非标定制
- 产地
- 沈阳
- 关键词
- MOCVD设备,金属有机化学气相沉积,高纯度MOCVD,MOCVD化学气相沉积,专业沉积设备
- 所在地
- 辽宁省沈阳市大东区望花南街15号
- 电话联系
- 13632768393
- 邮箱
- sales@hitnano-sy.com
- 市场主管
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- 2184792671
详细介绍
MOCVD 金属有机化学气相沉积设备
可用于GaN、ZnO等的外延生长。
材料的输运采取了超纯的气路系统，源的切换和输入采用了多路组合阀进气技术。由于组合阀具有极小的死空间，使得源的残留量非常少，有利于生长具有陡峭界面的材料。
采用压差控制技术控制组合阀的旁路和主路之间的压力，大大降低了源的压力和浓度波动，有利于材料生长的重复性和稳定性。
采用了管道镶嵌式进气喷头，使反应源在衬底表面均匀混合并反应，大大降低了预反应的发生。
采用电阻式快速升降温加热炉。
| 成立日期 | 2022年03月18日 |
| 法定代表人 | 刘军（法定代表人） |
| 注册资本 | 500 |
| 主营产品 高真空磁控溅射镀膜机，PVD物理气相沉积设备，CVD化学气相沉积设备，MBE分子束外延设备，金刚石散热晶圆片 | |
| 经营范围 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广，新材料技术研发，新材料技术推广服务，真空镀膜加工，泵及真空设备制造，泵及真空设备销售，电子真空器件制造，电子真空器件销售，半导体器件专用设备制造，半导体器件专用设备销售，仪器仪表制造，仪器仪表销售，机械设备租赁，软件开发，工业互联网数据服务，工业设计服务，会议及展览服务，广告设计、代理，广告制作，仪器仪表修理，化工产品销售（不含许可类化工产品），新型金属功能材料销售，电子产品销售，通讯设备销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 | |
| 公司简介 鹏城微纳技术（沈阳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术、市场和产业的交叉点，坚持创新与可持续发展，致力于解决产业的技术瓶颈和国产化难题，助力产业链的自主可控。鹏城微纳技术（沈阳）有限公司是鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，是半导体和泛半导体工艺和装备的设计和生产制造基地。公司业务是微纳技术、精密制造及原子级制造，具体应用领域包括半导体 ... | |
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