真空高温CVD炉
2026-07-06 11:43 46897769 119.118.247.42 14次
- 发布企业
- 鹏城微纳技术（沈阳）有限公司
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第1年主体名称：鹏城微纳技术（沈阳）有限公司组织机构代码：91210104MA7LH39L93
- 报价
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- 品牌
- 鹏城微纳
- 型号
- 非标定制
- 产地
- 沈阳
- 关键词
- 真空高温CVD炉,精密控温CVD炉,高温CVD设备,高温实验炉,真空加工炉
- 所在地
- 辽宁省沈阳市大东区望花南街15号
- 电话联系
- 13632768393
- 邮箱
- sales@hitnano-sy.com
- 市场主管
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- 2184792671
详细介绍
真空高温CVD炉采用高温化学气相沉积的方法，在工件表面沉积各种薄膜，在半导体工业中应用非常广泛，包括沉积大面积的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料，例如：碳化钽涂层、碳化硅涂层材料。
例如：可在石墨工件表面沉积碳化钽涂层和碳化硅涂层。
适用于生产企业及各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。
设备构成
炉壳采用不锈钢材质，双层水冷结构，设有观察窗和红外测温窗、热电偶测温装置。
加热系统
设备内部安装加热器，形成薄膜沉积热场。
样品台系统
样品台可挂载若干工件。
测温和加热电源
1、温度控制和检测全部采用热电偶/钨铼热电偶/红外测温仪。
2、加热电源功率根据实际要求定制电源。
主要技术指标
| 类型 | 参数 |
| 功率 | 约150KW |
| 加热器工作温度 | ≤2200℃ |
| 真空度 | 6.67*10^-3Pa（冷态空载） |
| 升压率 | 0.08pa/h |
| 成立日期 | 2022年03月18日 |
| 法定代表人 | 刘军（法定代表人） |
| 注册资本 | 500 |
| 主营产品 高真空磁控溅射镀膜机，PVD物理气相沉积设备，CVD化学气相沉积设备，MBE分子束外延设备，金刚石散热晶圆片 | |
| 经营范围 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广，新材料技术研发，新材料技术推广服务，真空镀膜加工，泵及真空设备制造，泵及真空设备销售，电子真空器件制造，电子真空器件销售，半导体器件专用设备制造，半导体器件专用设备销售，仪器仪表制造，仪器仪表销售，机械设备租赁，软件开发，工业互联网数据服务，工业设计服务，会议及展览服务，广告设计、代理，广告制作，仪器仪表修理，化工产品销售（不含许可类化工产品），新型金属功能材料销售，电子产品销售，通讯设备销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 | |
| 公司简介 鹏城微纳技术（沈阳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术、市场和产业的交叉点，坚持创新与可持续发展，致力于解决产业的技术瓶颈和国产化难题，助力产业链的自主可控。鹏城微纳技术（沈阳）有限公司是鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，是半导体和泛半导体工艺和装备的设计和生产制造基地。公司业务是微纳技术、精密制造及原子级制造，具体应用领域包括半导体 ... | |
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