有机涂覆设备是派瑞林粉材经过汽化(150°C)与裂解(650°C)成为活泼单体,进入涂装室中,在室温下以气相沉积的方式,均匀渗入与涂敷在涂装物的内部隙缝与表面,聚合成为派瑞林高分子材料。

主要特点
具有良好的温度均匀性。
金属基材镀膜具有zhuo*yue*的附着力。

技术参数
| 产品型号 | HITSemi-CVDP-X |
| 粉材装载量 | 1000g(可定制) |
| 蒸发炉 | 蒸发温度:80℃~220℃ |
| 温度均匀性:±2% | |
| 裂解炉 | 裂解温度:550℃~800℃ |
| 温度均匀性:±1% | |
| 偶联剂蒸发装置 | 80℃~200℃ |
| 冷阱 | 工作温度:≤-110℃ |
| 控制形式 | 半自动/全自动 |
| 控制系统 | PLC+触摸屏 |

设备工作条件
| 供电 | 三相五线制,AC 380V,50Hz |
| 功率 | 22KW |
| 气动部件供气压力 | 0.5MPa~0.7MPa |
| 质量流量控制器供气压力 | 0.05MPa~0.2MPa |
| 工作环境温度 | 10℃~40℃ |
| 工作环境湿度 | ≤50% |
| 成立日期 | 2022年03月18日 |
| 法定代表人 | 刘军(法定代表人) |
| 注册资本 | 500 |
| 主营产品 高真空磁控溅射镀膜机,PVD物理气相沉积设备,CVD化学气相沉积设备,MBE分子束外延设备,金刚石散热晶圆片 | |
| 经营范围 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广,新材料技术研发,新材料技术推广服务,真空镀膜加工,泵及真空设备制造,泵及真空设备销售,电子真空器件制造,电子真空器件销售,半导体器件专用设备制造,半导体器件专用设备销售,仪器仪表制造,仪器仪表销售,机械设备租赁,软件开发,工业互联网数据服务,工业设计服务,会议及展览服务,广告设计、代理,广告制作,仪器仪表修理,化工产品销售(不含许可类化工产品),新型金属功能材料销售,电子产品销售,通讯设备销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。 | |
| 公司简介 鹏城微纳技术(沈阳)有限公司,由哈尔滨工业大学(深圳)与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术、市场和产业的交叉点,坚持创新与可持续发展,致力于解决产业的技术瓶颈和国产化难题,助力产业链的自主可控。鹏城微纳技术(沈阳)有限公司是鹏城半导体技术(深圳)有限公司全资子公司,是半导体和泛半导体工艺和装备的设计和生产制造基地。公司业务是微纳技术、精密制造及原子级制造,具体应用领域包括半导体 ... | |










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