中国真空设备制造行业近年来无论是规模、品种还是技术水平都已取得了长足的进步,但整个行业与国外同行业相比,还仍然存在较大差距。
主要表现在:一是企业规模仍然偏小,全国散布着数百家生产企业,高稳定高精度恒温系统制造商,其中有很大部分都是在以往国有企业中分散出来的家族式或朋友之间股份合作式小微企业,整体实力偏弱;二是大部分企业研发投入少,没有设立真正的研发部门,基本处于接单—设计—生产的简单模式,导致在产品创新等方面远远落后于国外同行,产品同质化现象严重,高端产品市场基本被国外同行垄断。
溅射技术的成就之一是磁控溅射。由于在磁控溅射中引入了正交电磁场使离化率提高到5~6%。于是溅射速率比三级溅射提高10倍左右,鞍山高稳定高精度恒温系统,对许多材料,溅射速率达到了电子束蒸发的水平。
控溅射具有“低温”、“高速”两大特点。
磁控溅射是以磁场来改变电子的运动方向,高稳定高精度恒温系统型号,并束缚和延长电子的运动轨迹,高稳定高精度恒温系统价格,从而提高电子对工作气体的电离几率和有效的利用了电子的能量。是正离子对靶材轰击所引起的靶材溅射更加有效。
磁控溅射具有“低温”“高速”这两大特点。
电子束烧结技术是Zui近发展起来的一种新兴先进制造技术。它具有能量利用率高、无反射以及真空环境无污染等优点,可实现近形成型与快速制造。
它的出现被认为是近年来制造技术领域内的一次突破,其对制造业的影响可与数控技术的出现相媲美。
它也是一种在“分层制造”思想的基础上发展起来的制造技术,并在汽车、电子、国防军事、航空航天及医学领域得到成功应用。
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