钙钛矿镀膜设备
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设备用途 :
适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域
设备组成:
该设备主要由沉积室、真空排气系统、真空测量、蒸发源、样品加热、电控系统、等部分组成。
1、镀膜室:方形前后开门结构,350型四源有机无机热蒸发镀膜机销售,内带有防污板。
2、真空度:镀膜室的极限真空≤5×10-5Pa;
3、蒸发源系统:有机源蒸发源4个,无机蒸发源2套
4、样品架系统:样品大小为Φ150mm的样品,旋转速度为:0~30转/分;
5、样品在镀膜过程中,有机无机热蒸发镀膜机销售,可烘烤加热,加热温度为:室温~190℃,测温控温。
6、膜厚控制仪:测量范围0-999999?
ZF450型全自动热蒸发镀膜机
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选用3~8组蒸发源可适配金属材料、有机化合物蒸发。广泛运用于高等院校材料、物理学、有机化学、电子器件、电力能源等有关课程及其科研单位制取高品质作用塑料薄膜、蒸镀电级等,非常合适OPV/钙钛矿/无机物太阳能薄膜充电电池、半导体材料、有机化学EL、OLED显示信息科学研究与开发设计行业。
1.前开关门真空内腔,便捷拿取基片、拆换蒸发舟、加上蒸发材料及其真空室的平时维护保养;
2.1200L/s分子泵做为主抽泵,真空限达到5×10-5Pa;
另可选择進口磁悬浮分子泵或是低温泵做为主抽泵,真空限达到3×10-6Pa;
3.组水冷器蒸发电级,可长期平稳工作中,适配金属材料材料与有机化学材料的蒸发源设计方案,
源间有避免交叉式环境污染挡板;
4.真空蒸发开关电源,恒流电源/恒输出功率操纵。可保持一键启动和终止的自动控制系统作用;
5.较大120mm基片/15~25mmITO/FTO夹层玻璃25片,可订制一体化高精密刻蚀掩膜板;
6.基片台自转,转速比0~25rpm持续可调式;
7. 衬底可挑选加温或水冷散热,源基距较大350mm;
8. 选用進口膜厚监控器仪在线监控和操纵蒸发速度、膜厚;
9. 可堆积金属材料(Au, Ag,350型四源有机无机热蒸发镀膜机销售,Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属材料、化学物质(MoO3, LiF等)
及有机化合物材料, 可扩展堆积单面膜、双层膜及混和膜;
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小方分子提纯设备
主要用途:
用来生长有机材料提纯的研究工作。
系统组成: 该类设备为单室结构。
技术指标:
极限真空≤610-4Pa,工作压力≤2*10-3Pa;
系统漏率≤6.7×10-7PaL/s。
镀膜室:腔室尺寸约为Φ50×350mm,石英材料,圆柱形结构。
抽气系统:采用分子泵+机械泵抽气系统;
样品可加热,加热温度为:200-600℃;
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
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